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  • 超薄膜厚測(cè)試儀具體組成及作用解析
    20258-1

    超薄膜厚測(cè)試儀是一種用于精確測(cè)量納米級(jí)至微米級(jí)薄膜厚度的高精度儀器，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、光學(xué)涂層、新能源材料、表面工程等領(lǐng)域。其組成結(jié)構(gòu)通常包括硬件系統(tǒng)和軟件系統(tǒng)兩大部分，各模塊協(xié)同工作以實(shí)現(xiàn)高分辨率、高重復(fù)性的測(cè)量。一、超薄膜厚測(cè)試儀硬件系統(tǒng)：1.光源模塊（核心激發(fā)源）組成：根據(jù)原理不同，可能采用激光（如氦氖激光、半導(dǎo)體激光器）、白光LED或氙燈等；部分設(shè)備配備可調(diào)節(jié)波長(zhǎng)的單色儀，以適配不同材料的...

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